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2021年01月25日

當(dāng)前位置:首頁 > 采購信息 > 蒸鍍儀-手套箱  競(jìng)爭性磋商公告

蒸鍍儀-手套箱  競(jìng)爭性磋商公告  咨詢本項(xiàng)目

采購與招標(biāo)網(wǎng)   交通運(yùn)輸   江蘇   2025-07-03
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招標(biāo)代理公司(立即查看) 受業(yè)主單位(立即查看) 委托,于2025-07-03在采購與招標(biāo)網(wǎng)發(fā)布 蒸鍍儀-手套箱  競(jìng)爭性磋商公告。現(xiàn)邀請(qǐng)全國供應(yīng)商參與投標(biāo),有意向的單位請(qǐng)及時(shí)聯(lián)系項(xiàng)目聯(lián)系人參與投標(biāo)。 一、項(xiàng)目名稱:蒸鍍儀-手套箱二、項(xiàng)目編號(hào):S(略)三、采購人:(略)地址:(略)    電話:(略)-(略)n技術(shù)聯(lián)系人:(略)  電話:(略)-(略),(略):wei6@suda.edu.cn四、采購貨物品名、數(shù)量及主要性能參數(shù)要求蒸鍍儀-手套箱  1套(一)主要技術(shù)性能指標(biāo)要求A蒸鍍儀部(略)1.底盤結(jié)構(gòu)1.1采用型材搭建或焊接式框架,外觀要求氧化處理或噴漆,防止生銹,配可以打開的磁吸柜門;1.2底部帶輪子,可靈活推動(dòng),并帶有可調(diào)節(jié)高度的支腳;1.3帶有機(jī)械旋轉(zhuǎn)手臂,有多(略)度調(diào)節(jié)操作界面;1.4電氣控制集成在底盤上,與真空腔體一體。2.基片架結(jié)構(gòu)2.1可以固定4片(略)mm×(略)mm的基片;或4片(略)mm×(略)mm基片;或(略)片(略)mm×(略)mm基片,并可(略)切換2次掩膜板。2.2另一種為插盤式結(jié)構(gòu),可搭載1片(略)mm×(略)mm基片,附帶基片加熱功能,加熱范圍:室溫-(略)℃,向下兼容。2.3電機(jī)驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)連續(xù)旋轉(zhuǎn),最大轉(zhuǎn)速可達(dá)(略)轉(zhuǎn)(略)鐘,通過磁流體與基片托盤連接;2.4配有二個(gè)擋板,氣缸驅(qū)動(dòng),二個(gè)擋板組合使用,可遮擋范圍(略)mm×(略)mm;2.5腔體門板上安裝有長條形觀察窗,并附帶擋板,通過磁流體打開與關(guān)閉。3.蒸發(fā)源3.1十組舟源,七組有機(jī)源,三組金屬源,用于材料蒸發(fā),可蒸發(fā)常見有機(jī)材料,源與基片的垂直距離≥(略)mm;3.2每個(gè)蒸發(fā)源電極均采用水冷式結(jié)構(gòu),可以長時(shí)間蒸鍍;3.3每組蒸發(fā)源的上方同時(shí)配有防護(hù)板來防止蒸發(fā)源的交叉污染,防護(hù)板通過氣缸驅(qū)動(dòng),打開方式:左右旋轉(zhuǎn);3.4源與源之間裝有隔板,并避免源與源之間材料相互污染;3.5二臺(tái)蒸發(fā)電源,功率不小于1.5KW,精度0.1A,用于蒸發(fā)材料,可實(shí)現(xiàn)兩源共蒸。配合膜厚儀,能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)蒸鍍。4.自動(dòng)化控制(略)4.1采用工控機(jī)控制模式,相關(guān)的操作均在工控機(jī)界面完成,顯示器通過機(jī)械手臂固定在設(shè)備框架上;4.2(略)控制(略)為自動(dòng)和手動(dòng)模式,可以隨時(shí)切換;4.3帶有一鍵自動(dòng)蒸鍍功能。5(略)5.1四個(gè)標(biāo)準(zhǔn)晶振傳感器,均為水冷式,安放于腔體四個(gè)(略)落;5.2晶振探頭,膜厚儀與蒸發(fā)電源之間可實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制,用于控制電源功能及速率穩(wěn)定性;5.3膜厚速率顯示精度:±0.(略)?S;5.4蒸鍍速率,可蒸有機(jī):以BCP為標(biāo)準(zhǔn),蒸鍍速率:速度穩(wěn)定性:≤±(略)%0.1-0.5?s,≤±5%0.5-(略)?s,≤±4%(略)?s;單片內(nèi)膜厚均勻性≤5%。6.真空室6.1真空室由不銹鋼制成,內(nèi)部尺寸至少為(略)mm×(略)mm×(略)mm,裝有基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)和擋板的固定裝置,以及蒸發(fā)電極、真空泵、樣品盤等裝置;6.2真空腔體配備兩個(gè)可以完全打開的門,前門為移門,通過與直線導(dǎo)軌、滑塊等裝置連接,可使前門左右開啟與關(guān)閉,后期也可以連接手套箱,在手套箱內(nèi)部操作前門開關(guān),確保(略)個(gè)工作環(huán)境處于氮?dú)饣蚨栊詺怏w氛圍中;后門旋轉(zhuǎn)門,通過旋轉(zhuǎn)軸實(shí)現(xiàn)后門的開關(guān),開啟后腔體內(nèi)部完全暴露在空氣中,主要的目的為維護(hù)檢修,并配一個(gè)長方形觀察窗,配合腔體外部照明燈,方便觀察腔體內(nèi)部狀況;6.3腔體極限真空優(yōu)于3.5×(略)-5Pa,從常壓到5×(略)-4Pa不超過(略)min(充氮?dú)獗Wo(hù));6.4氣動(dòng)高真空插板閥,通徑大于等于(略)mm;6.5(略),可以在不關(guān)閉(略)子泵的條件下,打開腔室,進(jìn)行樣品及材料的更換;6.6腔體內(nèi)表面預(yù)留安裝金屬防污擋板接口,后期可安裝金屬防污擋板;7(略)7.1前級(jí)泵的抽速不低于(略)m3h;7.2主泵采用抽速≥(略)Ls的(略)子泵;7.3主泵和腔室之間安裝有氣動(dòng)插板閥,通徑≥(略)mm;7.4自動(dòng)抽氣控制,帶安全互鎖功能;7.5配有(略)等相應(yīng)的硬件;7.6真空室配真空計(jì),測(cè)量范圍為大氣至(略)-5Pa。8.前處理設(shè)備8.1鼓風(fēng)干燥箱,數(shù)量1臺(tái),體積(略)L,溫度范圍RT+(略)~(略)℃;8.2圓形真空干燥器,數(shù)量1臺(tái),室溫條件下真空度可以保持1Torr((略)Pa)(略)小時(shí)以上,PC材質(zhì),一次性注塑成形,不使用粘合劑,具有良好的密封性,裝有真空計(jì)量器。8.3立方體真空干燥器,數(shù)量1臺(tái),室溫條件下真空度可以保持1Torr((略)Pa)(略)小時(shí)以上,PC材質(zhì),一次性注塑成形,不使用粘合劑,具有良好的密封性,裝有真空計(jì)量器;8.4抗化學(xué)腐蝕隔膜泵,數(shù)量1臺(tái),極限真空度不高于8mbar;最大流量不低于(略)Lmin,泵頭采用PTFE涂層耐化學(xué)腐蝕,干式運(yùn)行無油霧污染;8.5超聲波清洗器,數(shù)量1臺(tái),體積(略)L,頻率(略)kHz,帶加熱功能,可調(diào)功率;8.6迷你渦旋混勻器,數(shù)量2臺(tái),采用按壓式圓周偏心回轉(zhuǎn)振蕩,長寬高小于(略)cm,可外置電池組;8.7圓周式搖床,數(shù)量1臺(tái),配備可調(diào)托盤,LED顯示屏,設(shè)有定時(shí)功能,1min~(略)h范圍內(nèi)任意設(shè)定,時(shí)間控制器可自動(dòng)報(bào)警,可實(shí)現(xiàn)無人操作;8.8加熱磁力攪拌器套裝,數(shù)量1套,溫度范圍不小于:室溫~(略)℃,轉(zhuǎn)速范圍不小于(略)rpm~(略)rpm,加熱盤面采用鋁合金材質(zhì)耐高溫耐腐蝕,盤面尺寸不小于Φ(略)mm,具備自我診斷功能,(略)溫度傳感器,具備超溫保護(hù)功能,配置至少4套不同尺寸加熱塊。9.隨機(jī)耗材9.1腔體內(nèi)部內(nèi)襯板及防污玻璃1套;9.2晶振片,6MHz規(guī)格,2盒;9.3配齊一套蒸發(fā)舟以及坩堝;9.4真空吸筆一支;9.5Mask及配件2套。B手套箱部(略)1.技術(shù)指標(biāo)要求1.1使用(略).(略)%的惰性氣源,空箱運(yùn)轉(zhuǎn),箱內(nèi)水氧含量均小于1ppm。1.2箱體泄漏率<0.(略)%h(即關(guān)閉循環(huán)氧含量上升速率<2ppmh)。2.主要配置及具體要求2.1箱體2.1.1四個(gè)不銹鋼箱體,每個(gè)箱體內(nèi)部尺寸為長度≤(略)mm、深度≤(略)mm、高度≤(略)mm,箱體呈L型布置,箱體材質(zhì)為SUS(略)不銹鋼,厚度3mm;2.1.2四個(gè)視窗與箱體之間采用無泄漏雙層密封技術(shù),可以有效阻擋空氣中的H2O、O2、N2(略)子擴(kuò)散入手套箱和有毒(略)子擴(kuò)散出手套箱,達(dá)到無泄漏效果(產(chǎn)品宣傳冊(cè)需有相關(guān)證明文件);2.1.3八個(gè)鋁合金手套口(由實(shí)心棒材加工而成,原色氧化,不接受POM或鑄鋁材質(zhì)的手套口,產(chǎn)品宣傳冊(cè)需有相關(guān)證明文件);2.1.4手套口與手套和視窗之間的密封使用無泄漏密封抽真空技術(shù)(產(chǎn)品宣傳冊(cè)需有相關(guān)證明文件);2.1.5四副原裝丁基橡膠手套。制造商擁有手套箱手套(略)檢漏裝置用于箱體及手套檢漏;(需制造商提供相關(guān)技術(shù)證明文件)2.1.6箱體背部預(yù)留多個(gè)KF(略)法蘭孔;2.1.7四個(gè)鋼結(jié)構(gòu)支架,高≥(略)mm,安裝有(略)向腳輪,具有調(diào)平、移動(dòng)、固定等功能。2.2過渡艙2.2.1一個(gè)T型大過渡倉,直徑≥(略)mm,長度≥(略)mm,通過在觸摸屏上點(diǎn)觸啟動(dòng)按鍵,過渡艙可自動(dòng)完成多次抽充程序;(此自動(dòng)抽充功能需要提供證明文件)2.2.2一個(gè)T型小過渡倉,法蘭連接,直徑≥(略)mm,長度≥(略)mm,小過渡艙門特別設(shè)計(jì),易操作,不易損壞;2.2.3兩個(gè)小方倉,焊接在箱體左側(cè),尺寸:(略)mm×(略)mm×(略)mm,其中一個(gè)方艙可升級(jí)為加熱倉(可抽真空并加熱);2.2.4?一個(gè)便捷型小過渡倉,焊接在箱體右側(cè),直徑≥(略)mm,長度≥(略)mm,小過渡艙門易操作,不易損壞。2.3(略)(數(shù)量:兩套)2.3.1氧氣的吸附量≥(略)升;水的吸附量≥2公斤;2.3.2配有凈化材料吸附飽和后可再生裝置。(需要提供相應(yīng)的證明文件)2.3.3有機(jī)溶劑吸附柱:含活性炭顆粒吸附材料,放置在箱體內(nèi),吸附飽和后可便捷更換材料。2.4(略)(數(shù)量:兩套)2.4.1(略)由PLC和7”彩色觸摸屏組成,用戶友好的中英文操作界面;2.4.2(略)能耗,循環(huán)風(fēng)機(jī)功率小于(略)m3h,無需增加變頻器及冷水機(jī)。手套箱具有自動(dòng)循環(huán)與手動(dòng)循環(huán)兩種模式,大部(略)時(shí)間能耗小于(略)W。(產(chǎn)品宣傳冊(cè)需有相關(guān)證明文件)2.5驗(yàn)收技術(shù)指標(biāo)2.5.1泄漏率﹤0.(略)%h即關(guān)閉循環(huán)氧含量上升速率2ppmh,磋商文件需提供相關(guān)技術(shù)證明文件,其中泄漏率指標(biāo)需提供國家級(jí)非地方性機(jī)構(gòu)出具的測(cè)試認(rèn)證報(bào)告,泄漏率檢測(cè)結(jié)果同時(shí)適用于正壓和負(fù)壓狀態(tài)下);(此項(xiàng)作為最終驗(yàn)收指標(biāo),如若不符用戶有權(quán)直接退貨)2.5.2H2O﹤1ppm,O2﹤1ppm。(PLC顯示屏需顯示實(shí)際水氧含量,顯示屏上數(shù)值需精確到小數(shù)點(diǎn)后兩位,而且水含量數(shù)值能在PLC顯示屏上隨時(shí)切換成箱體內(nèi)實(shí)測(cè)露點(diǎn)值(需提供相關(guān)技術(shù)證明文件)。(此項(xiàng)作為最終驗(yàn)收指標(biāo),如若不符用戶有權(quán)直接退貨)2.6標(biāo)準(zhǔn)配件2.6.1真空泵(數(shù)量:兩臺(tái)):采用知名品牌;流量≥(略)m3h,極限真空2×(略)-3毫巴,可對(duì)過渡艙抽真空,并保持箱體壓力平衡;2.6.2氧(略)析儀(數(shù)量:兩臺(tái)):采用知名品牌傳感器,材質(zhì)為電化學(xué)燃料電池,不接受氧化鋯材質(zhì)探頭,量程:0~(略)ppm。精度:0.2ppm或量程的1%(產(chǎn)品宣傳冊(cè)需有相關(guān)證明文件并提供校準(zhǔn)報(bào)告)。氧(略)析儀需要自帶數(shù)顯功能(需有相關(guān)技術(shù)證明文件);2.6.3水(略)析儀露點(diǎn)儀(數(shù)量:兩臺(tái)):采用知名品牌傳感器,材質(zhì)為氧化鋁膜探測(cè)器,量程:-(略)℃~(略)℃(露點(diǎn))或者量程:0~(略)ppm,精度:2℃(產(chǎn)品宣傳冊(cè)需有相關(guān)證明文件并提供校準(zhǔn)報(bào)告);2.6.4(略)(數(shù)量:一套),安裝于箱體頂部,控制箱內(nèi)溫度(略)℃~(略)℃;2.6.5箱體內(nèi)部設(shè)計(jì)安裝一個(gè)遮擋簾。2.7其他配件2.7.1國產(chǎn)鋼瓶減壓閥四個(gè)2.7.2原裝進(jìn)口丁基橡膠手套四只2.7.3箱內(nèi)電源線三根2.7.4真空單管雙閥兩根2.7.5顯示器支架一個(gè)2.7.6兩根5米長的清洗閥外接鋼絲軟管(直徑(略)mm、(略)mm)2.7.7手套箱備用工具一套、電子檔說明書一份(三)質(zhì)保期不少于1年(驗(yàn)收合格后起算)。五、評(píng)(略)標(biāo)準(zhǔn)本次磋商采用綜合評(píng)(略)法,總(略)為(略),具體內(nèi)容如下:(一)技術(shù)參數(shù)、配置及(略)體綜合性能(略)((略))1.技術(shù)參數(shù)及配置((略))以供應(yīng)商提供的能直接反映該產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)的彩頁或產(chǎn)品說明書等作為主要評(píng)判依據(jù),其他情況由磋商小組根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行評(píng)判。(1)所提供產(chǎn)品多項(xiàng)不滿足磋商公告要求(偏離),或參數(shù)偏離超出用戶教學(xué)、科研可接受范圍的,經(jīng)磋商小組評(píng)審可作為無效響應(yīng)文件。(2)所提供產(chǎn)品不滿足磋商公告要求(偏離)、配置不詳、技術(shù)參數(shù)不明確、缺漏項(xiàng)的,每處扣1(略)。2.綜合性能情況((略))(1)所提供產(chǎn)品性能參數(shù)優(yōu)于競(jìng)爭性磋商文件中技術(shù)要求情況(磋商小組認(rèn)為超出指標(biāo)有意義的)(6(略))。其中優(yōu)于項(xiàng),每處加2(略)。(2)所提供(略)場(chǎng)反饋情況(9(略))。根據(jù)所提供產(chǎn)品的品牌影響力、(略)場(chǎng)占有率(同行業(yè)為主)、現(xiàn)有用戶的反饋情況、使用所提供產(chǎn)品發(fā)表的學(xué)術(shù)論文情況等綜合評(píng)定。(二)價(jià)格(略)((略))1.基準(zhǔn)價(jià):滿足競(jìng)爭性磋商文件要求且價(jià)格最低的報(bào)價(jià)為基準(zhǔn)價(jià),基準(zhǔn)價(jià)為滿(略);2.其他供應(yīng)商的報(bào)價(jià)得(略)按照下列公式計(jì)算:報(bào)價(jià)得(略)=(基準(zhǔn)價(jià)/報(bào)價(jià))×(略)。((略)((略))1.綜合實(shí)力(3(略))根據(jù)供應(yīng)商綜合實(shí)力評(píng)定。2.售后服務(wù)與培訓(xùn)情況等((略))(1)質(zhì)保期(3(略))。符合磋商文件要求的,得1(略),每增加一年質(zhì)保期加1(略)。(2)服務(wù)、技術(shù)支持與培訓(xùn)承諾情況(7(略))。根據(jù)磋商響應(yīng)文件(略)點(diǎn)設(shè)置情況、服務(wù)響應(yīng)時(shí)間、現(xiàn)有用戶對(duì)產(chǎn)品售后服務(wù)情況及服務(wù)水平的反饋等綜合評(píng)定。3.其它優(yōu)惠措施等(2(略))根據(jù)供應(yīng)商提供的在磋商文件要求范圍以外,磋商小組認(rèn)可的優(yōu)惠措施綜合評(píng)定。六、磋商響應(yīng)報(bào)價(jià)應(yīng)包括所報(bào)儀器設(shè)備費(fèi)、安裝調(diào)試費(fèi)、測(cè)試驗(yàn)收費(fèi)、培訓(xùn)費(fèi)、運(yùn)行維護(hù)費(fèi)、稅金(含美國產(chǎn)品被加征關(guān)稅)、國際國內(nèi)運(yùn)輸費(fèi)、保險(xiǎn)和其他為完成本項(xiàng)目所發(fā)生的一切費(fèi)用。七、供應(yīng)商資質(zhì)要求(一)具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的能力;(二)具有良好的商業(yè)信譽(yù)和健全的財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)制度;(三)具有履行合同所必需的設(shè)備和專業(yè)技術(shù)能力;(四)有依法繳納稅收和社會(huì)保障資金的良好記錄;(五)近三年內(nèi),在經(jīng)營活動(dòng)中沒有重大違
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